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性能指标：
光学系统规格
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物镜
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目镜
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显微镜
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工作
距离
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视场
直径
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放大倍数
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焦距
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放大倍数
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焦距
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放大倍数
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2.5×/0.08
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43.40
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10×
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25.00
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25×
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58.84
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5.6
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10×/0.25
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17.13
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100×
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7.81
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1.6
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测量工作台读数装置主要规格
X轴遇到测量范围50nm
Y轴遇到测量范围13nm
测量器分度值：0.01nm
测量台转动范围不限：NO limit
测量台刻度盘分度范围：0°～360°
测量台刻度盘之分度值：1°
测量台刻度盘游标读数示值：6’
测量精度：
仪器示值误差：± （4+L/15）μ m
仪器示值误差：包括测量误差和系统误差
注：测量地点温度变化20℃ ±3℃，L--被测件长度